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高纯度有毒气体报警器:半导体制造的“安全卫士”选对了吗?
更新时间:2026-01-26      阅读:33

半导体制造行业,高纯度有毒气体如硅烷(SiH₄)、PH₃)、(AsH₃)等的应用极为广泛,但这些气体一旦泄漏,不仅可能引发爆炸、中毒等严重事故,还会对精密设备造成不可逆的损害。如何确保生产环境的安全?高纯度有毒气体报警器成为半导体制造企业的“安全刚需"。艾伊科技AG310/AG311系列有毒气体探测器,凭借模块化设计、高精度传感和智能报警功能,正成为行业安全监测的产品。半导体制造行业为何需要专用高纯度有毒气体报警器?

半导体制造过程中,气体纯度直接影响芯片良率,而有毒气体泄漏的危害更不容忽视。例如,硅烷泄漏可能引发自燃,浓度超标会导致人员中毒,传统气体报警器可能因传感精度不足、抗干扰能力弱,无法满足半导体车间对微量泄漏(ppm级)和复杂气体共存环境的监测需求。而高纯度有毒气体报警器通过半导体传感技术,可精准识别单一气体浓度,避免交叉干扰,确保报警准确性。

AG310/AG311:模块化设计,满足半导体行业定制化需求

艾伊科技AG310/AG311系列有毒气体探测器采用模块化传感器设计,用户可根据车间气体种类(如硅烷、氨气等)灵活更换检测模块,实现“一机多用"。其核心参数如下:

检测范围:0-100ppm(支持定制量程);

响应时间(T90):≤30秒,快速捕捉泄漏;

报警方式:大光圈声光报警+三组开关量输出,可联动排风、切断阀等设备;

防护等级:IP66,适应洁净室、无尘车间等严苛环境。

高纯有毒气体气体监测仪:从预警到联动的全流程防护

半导体车间对安全响应速度要求AG310/AG311系列不仅支持本地声光报警,还可通过开关量信号与DCSPLC系统对接,实现泄漏自动处置。例如,某12英寸晶圆厂部署该设备后,当浓度达5ppm时,系统立即触发排风装置,10秒内将浓度降至安全阈值,避免人员中毒和设备腐蚀。

结语:高纯度有毒气体报警器,守护半导体制造的“芯"安全



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